步进电机主要根据相数来进行分类，其中二相和五相步进电机是目前市场上广泛采用的。二相步进电机每转最大可细分为400等分，而五相步进电机则可以细分为1000等分。因此，五相步进电机在控制精度、加减速时间、动态惯性等方面的表现较佳。
五相步进电机具有更高的细分能力，可以提供更高的精度和更快的加减速时间。此外，由于五相步进电机的相数较多，其力矩波动也较小，动态惯性较低，能够实现更平滑的运动。这些优点使得五相步进电机在需要高精度控制和高性能的应用中具有更大的优势。
两相混合式步进电机的步距角一般为3.6度和1.8度，而五相混合式步进电机的步距角一般为0.72度和0.36度。这些步距角指的是电机每转一圈所需的脉冲数。步距角越小，电机的控制精度就越高。
交流伺服电机的控制精度由旋转编码器保证。以松下全数字式交流伺服电机为例，其脉冲当量取决于编码器的类型和内部处理技术。对于带标准2500线编码器的电机，脉冲当量为0.036度;而对于带17bit编码器的电机，脉冲当量则更小，为0.002746度/脉冲。这些数据反映了交流伺服电机在控制精度和性能方面的高效性。
步进电机在低速时容易出现低频振动现象，这是由于其工作原理所导致的。这种振动现象会对其正常运转产生不利影响。为了克服这种低频振动现象，通常会采用阻尼技术。在电机上添加阻尼器是一种常见的方法，通过阻尼器的减震作用来降低电机的振动。另外，驱动器上也可以采用细分技术，通过更精细的控制脉冲来平衡电机的振动。
相比之下，交流伺服电机在运转时非常平稳，即使在低速时也不会出现振动现象。这得益于交流伺服系统所具有的共振抑制功能，该功能可以涵盖机械的刚性不足，并且系统内部具有频率解析机能(FFT)，可以检测出机械的共振点，便于系统进行调整和优化。
